Parylene真空镀膜
2022-12-17
气态单体进入沉积腔室,首先扩散至沉积表面附近,吸附到各个表面后,开始聚合和结晶的过程,直接形成固体,避免了液相的出现,消除了涂层厚度不均匀和其中的缺陷。
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气态单体进入沉积腔室,首先扩散至沉积表面附近,吸附到各个表面后,开始聚合和结晶的过程,直接形成固体,避免了液相的出现,消除了涂层厚度不均匀和其中的缺陷。